電感測微儀是一種能夠測量微小尺寸變化的精密測量儀器，它由主體和測頭兩部分組成，配上相應(yīng)的測量裝置(例如測量臺架等)，能夠完成各種精密測量，具有精度高、測量范圍廣、穩(wěn)定性好等優(yōu)點。因此，電感測微儀被廣泛應(yīng)用于精密機(jī)械制造業(yè)、 晶體管和集成電路制造業(yè)以及其他相關(guān)行業(yè)的精密長度測量。

一、電感測微儀的組成部分

1、測微儀主體

電感測微儀配合測量臺架及專用測頭等輔助裝置，可將零件的實際表面與理想幾何表面的差異轉(zhuǎn)變?yōu)闇y頭的位移并與電信號相對應(yīng),通過放大電信號而對零件的質(zhì)量有直觀**的反映。利用電感測微儀的這一-特性能夠完成各種精密測量,比如檢查工件的厚度、內(nèi)徑、外徑、圓度、平行度、直線度、徑向跳動等。

2、測量臺架

電感測微儀靈敏度很高，其測頭必須固定，工件在測量時也必須進(jìn)行**定位。為實現(xiàn)這一要求，在測量中使用測量臺架以固定測頭并對工件進(jìn)行定位。

3、專用測量頭

為利用電感測微儀對錐面進(jìn)行檢測，需制作系列專用測量頭配套使用。

定位桿起模擬內(nèi)孔基準(zhǔn)的作用，根據(jù)零件內(nèi)孔公差，按一定間隔制成不同的尺寸。在保證定位桿尺寸精度的同時對定位桿的形位公差也必須進(jìn)行嚴(yán)格控制，如外圓圓度、素線直線度等都必須控制在0.0005mm以內(nèi)。定位桿右端的平面度必須控制在0.001mm以內(nèi)，且該平面對定位桿軸線的垂直度也應(yīng)該嚴(yán)格控制，因為該平面為測量面，與電感測微儀測頭相接觸，直接影響測量的精度。

定位測量頭與定位桿夾角為45°，其在測量過程中始終與零件的錐面相接觸，且與定位桿軸線的距離必須嚴(yán)格控制。為保證該距離符合要求，可以將定位測量頭與定位桿使用細(xì)牙螺紋連接，以便于調(diào)整。同時必須保證定位測量頭部分面積盡可能小，以保證其與零件的測量錐面為點接觸。為使較尖的部分有一定的耐磨性，可對其進(jìn)行淬火處理。

二、電感測微儀的主要測量方法

測量前先對零件的內(nèi)孔進(jìn)行測量，然后根據(jù)內(nèi)孔的實際尺寸選擇相應(yīng)的定位桿，以保證定位桿與內(nèi)孔的配合間隙在0.001mm以內(nèi)。調(diào)整電感測微儀的倍率，把零件放置在工作臺上，將定位桿插入零件的孔中并進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，使定位測量頭在零件的小錐面上旋轉(zhuǎn)，觀察電感測微儀指針的偏擺，根據(jù)相關(guān)計算公式驗算即可得到數(shù)據(jù)。

以上就是電感測微儀有哪些組成部分及測量方法的相關(guān)內(nèi)容介紹。通過上述內(nèi)容可知，電感測微儀測量效果出眾，各個組成部分都有具體作用，配合好的測量方法能夠得到正確的數(shù)據(jù)，因此應(yīng)用廣泛。